Химийн механик өнгөлгөө (CMP) нь ихэвчлэн химийн урвалаар гөлгөр гадаргуутай, ялангуяа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт ажилладаг.Лонметр, шугаман концентрацийг хэмжих чиглэлээр 20 гаруй жилийн туршлагатай итгэмжлэгдсэн шинийг санаачлагч нь хамгийн сүүлийн үеийнцөмийн бус нягтын тоолуурболон зуурамтгай чанар мэдрэгч нь зутан менежментийн сорилтуудыг шийдвэрлэх.
Сларрын чанар ба Лоннметрийн мэдлэгийн ач холбогдол
Химийн механик өнгөлгөөний зутан нь гадаргуугийн жигд байдал, чанарыг тодорхойлдог CMP процессын гол тулгуур юм. Тогтворгүй зутан нягтрал эсвэл зуурамтгай чанар нь бичил зураас, жигд бус материалыг зайлуулах, дэвсгэр бөглөрөх зэрэг согогийг үүсгэж, вафельний чанарыг алдагдуулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг нэмэгдүүлдэг. Аж үйлдвэрийн хэмжилтийн шийдлээрээ дэлхийд тэргүүлэгч Lonnmeter нь зутангийн оновчтой гүйцэтгэлийг хангах үүднээс шугаман зутан хэмжилтээр мэргэшсэн. Найдвартай, өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчийг нийлүүлж байсан туршлагатай Lonnmeter нь үйл явцын хяналт, үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд хагас дамжуулагч тэргүүлэгч үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажилладаг. Тэдгээрийн цөмийн бус зутангийн нягтын хэмжигч болон зуурамтгай чанар мэдрэгч нь бодит цагийн мэдээллийг өгдөг бөгөөд энэ нь зутангийн тогтвортой байдлыг хадгалах, орчин үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангах нарийн тохируулга хийх боломжийг олгодог.
Хагас дамжуулагчийн шилдэг фирмүүдийн итгэлийг хүлээсэн шугаман концентрацийг хэмжих чиглэлээр хорь гаруй жилийн туршлагатай. Lonnmeter-ийн мэдрэгчүүд нь үйл ажиллагааны зардлыг бууруулж, тасралтгүй нэгтгэх, тэг засвар үйлчилгээ хийх зориулалттай. Үйл явцын тодорхой хэрэгцээг хангахын тулд тусгайлан боловсруулсан шийдлүүд нь өрмөнцөрийн өндөр гарц, шаардлагыг хангадаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд химийн механик өнгөлгөөний үүрэг
Химийн механик өнгөлгөө (CMP) нь хими-механик хавтгайжуулалт гэж нэрлэгддэг бөгөөд хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тулгын чулуу бөгөөд дэвшилтэт чип үйлдвэрлэхэд тэгш, согоггүй гадаргууг бий болгох боломжийг олгодог. Химийн сийлбэрийг механик үрэлттэй хослуулснаар CMP процесс нь 10 нм-ээс доош зангилааны олон давхаргат нэгдсэн хэлхээнд шаардлагатай нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Ус, химийн урвалж, зүлгүүрийн тоосонцороос бүрдэх химийн механик өнгөлгөөний зуурмаг нь өнгөлгөөний дэвсгэр болон ялтсуудтай харилцан үйлчилж, материалыг жигд арилгадаг. Хагас дамжуулагчийн загвар өөрчлөгдөхийн хэрээр CMP процесс улам бүр төвөгтэй болж, согогоос урьдчилан сэргийлж, хагас дамжуулагч цутгах үйлдвэр, материал нийлүүлэгчдийн эрэлт хэрэгцээтэй гөлгөр, өнгөлсөн ялтсанд хүрэхийн тулд зутангийн шинж чанарыг хатуу хянах шаардлагатай болдог.
Энэ процесс нь хамгийн бага согогтой 5 нм ба 3 нм чип үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай бөгөөд энэ нь дараагийн давхаргыг үнэн зөв байрлуулахад тэгш гадаргууг баталгаажуулдаг. Бага зэргийн зутантай зөрчилдөөн нь өндөр өртөгтэй дахин боловсруулалт эсвэл ургац алдахад хүргэдэг.
Сларрын шинж чанарыг хянахад тулгарч буй бэрхшээлүүд
Химийн механик өнгөлгөөний явцад зутангийн нягт ба зуурамтгай чанарыг тогтвортой байлгах нь олон бэрхшээлтэй тулгардаг. Зуурмагийн шинж чанар нь тээвэрлэлт, ус эсвэл устөрөгчийн хэт исэлээр шингэлэх, хангалтгүй холих, химийн задрал зэрэг хүчин зүйлээс шалтгаалан өөр өөр байж болно. Жишээлбэл, булингарт бөөмс хуримтлагдах нь доод хэсэгт илүү нягтрал үүсгэж, жигд бус өнгөлгөөнд хүргэдэг. РН, исэлдэлтийг бууруулах боломж (ORP) эсвэл дамжуулах чанар зэрэг уламжлалт хяналтын аргууд нь зутангийн найрлага дахь нарийн өөрчлөлтийг илрүүлж чадахгүй тул хангалтгүй байдаг. Эдгээр хязгаарлалтууд нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид болон CMP үйлчилгээ үзүүлэгчдэд ихээхэн эрсдэл учруулж, гэмтэл согог, зайлуулах хурдыг бууруулж, хэрэглээний зардлыг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг. Харьцах, тараах явцад найрлага дахь өөрчлөлтүүд гүйцэтгэлд нөлөөлдөг. Дэд 10 нм зангилаа нь зутангийн цэвэр байдал, хольцын нарийвчлалыг илүү хатуу хянах шаардлагатай. рН ба ORP нь хамгийн бага хэлбэлзэлтэй байдаг бол дамжуулах чанар нь зутан хөгшрөлтөөс хамаарч өөрчлөгддөг. Тогтворгүй зутан шинж чанар нь үйлдвэрлэлийн судалгаагаар согогийн хэмжээг 20% хүртэл нэмэгдүүлэх боломжтой.
Бодит цагийн хяналтанд зориулсан Lonnmeter-ийн Inline мэдрэгч
Lonnmeter нь цөмийн бус зутангийн нягтын тоолуур болонзуурамтгай чанар мэдрэгч, үүнд шугаман зуурамтгай чанарыг хэмжих зориулалттай шугамын зуурамтгай чанар хэмжигч, зутангийн нягт ба зуурамтгай чанарыг нэгэн зэрэг хянах зориулалттай хэт авианы нягтын тоолуур орно. Эдгээр мэдрэгчүүд нь үйлдвэрлэлийн стандартын холболтыг агуулсан CMP процессуудад саадгүй нэгтгэх зориулалттай. Lonnmeter-ийн шийдлүүд нь бат бөх барилгын хувьд урт хугацааны найдвартай байдал, засвар үйлчилгээ багатай байдаг. Бодит цагийн өгөгдөл нь операторуудад зутан хольцыг нарийн тохируулах, согогоос урьдчилан сэргийлэх, өнгөлгөөний гүйцэтгэлийг оновчтой болгох боломжийг олгодог бөгөөд эдгээр хэрэгслийг шинжилгээ, туршилтын тоног төхөөрөмж нийлүүлэгчид болон CMP хэрэглээний материалын нийлүүлэгчдэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.
CMP оновчтой болгохын тулд тасралтгүй хяналт тавихын ашиг тус
Lonnmeter-ийн шугаман мэдрэгч бүхий тасралтгүй хяналт нь химийн механик өнгөлгөөний үйл явцыг өөрчилдөг бөгөөд бодитой ойлголтыг өгч, зардлыг ихээхэн хэмнэдэг. Бодит хугацаанд зутангийн нягтыг хэмжих, зуурамтгай чанарыг хянах нь зураас, хэт өнгөлгөө зэрэг согогийг салбарын жишиг үзүүлэлтүүдийн дагуу 20% хүртэл бууруулдаг. PLC системтэй интеграцчлал нь автоматжуулсан тун болон процессын хяналтыг бий болгож, зутангийн шинж чанарыг оновчтой хязгаарт байлгах боломжийг олгодог. Энэ нь хэрэглээний зардлыг 15-25% бууруулж, сул зогсолтыг багасгаж, хавтанцар жигд байдлыг сайжруулахад хүргэдэг. Хагас дамжуулагч цутгах үйлдвэрүүд болон CMP үйлчилгээ үзүүлэгчдийн хувьд эдгээр давуу талууд нь бүтээмжийг дээшлүүлж, ашгийн хэмжээ өндөр, ISO 6976 зэрэг стандартыг дагаж мөрддөг.
CMP дахь зутангийн мониторингийн талаархи нийтлэг асуултууд
CMP-ийн хувьд зутангийн нягтын хэмжилт яагаад зайлшгүй шаардлагатай вэ?
Сларрын нягтын хэмжилт нь бөөмийн жигд тархалт, хольцын тууштай байдлыг хангаж, согогоос сэргийлж, химийн механик өнгөлгөөний явцад зайлуулах хурдыг оновчтой болгодог. Энэ нь өндөр чанартай вафель үйлдвэрлэх, салбарын стандартад нийцүүлэхийг дэмждэг.
Зуурамтгай байдлын хяналт нь CMP-ийн үр ашгийг хэрхэн нэмэгдүүлдэг вэ?
Зуурамтгай чанарыг хянах нь зуурмагийн урсгалыг тогтмол байлгаж, дэвсгэр бөглөрөх, жигд бус өнгөлөх зэрэг асуудлаас сэргийлдэг. Lonnmeter-ийн шугаман мэдрэгч нь CMP процессыг оновчтой болгож, вафельний гарцыг сайжруулахын тулд бодит цагийн өгөгдлийг өгдөг.
Lonnmeter-ийн цөмийн бус зутангийн нягтын тоолуур юугаараа онцлог вэ?
Lonnmeter-ийн цөмийн бус зутан нягтын тоолуур нь нягтрал болон зуурамтгай чанарыг хэмжилтийг өндөр нарийвчлалтай, тэг засвар үйлчилгээгүйгээр нэгэн зэрэг хийх боломжийг олгодог. Тэдний бат бөх загвар нь CMP процессын орчин шаардсан нөхцөлд найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн химийн механик өнгөлгөөний процессыг оновчтой болгоход бодит цагийн зутангийн нягтын хэмжилт, зуурамтгай чанарыг хянах нь чухал юм. Lonnmeter-ийн цөмийн бус зутангийн нягтын тоолуур болон зуурамтгай чанар мэдрэгчүүд нь Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид, CMP хэрэглээний материал нийлүүлэгчид, хагас дамжуулагч цутгах үйлдвэрүүдэд зутангийн менежментийн сорилтуудыг даван туулах, согогийг бууруулах, зардлыг бууруулах багаж хэрэгслээр хангадаг. Нарийвчлалтай, бодит цаг хугацааны өгөгдлийг нийлүүлснээр эдгээр шийдлүүд нь үйл явцын үр ашгийг дээшлүүлж, дагаж мөрдөхийг баталгаажуулж, өрсөлдөөнт CMP зах зээлд ашигт ажиллагааг бий болгодог. зочилно ууLonnmeter-ийн вэбсайтэсвэл Lonnmeter таны химийн механик өнгөлгөөний үйл ажиллагааг хэрхэн өөрчилж болохыг олж мэдэхийн тулд өнөөдөр тэдний багтай холбогдоно уу.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 7-р сарын 22
